대형 기판의 필름 및 코팅의 반사율 측정을 통한 자동 특성화에 적합한 소형 Bench-top
두께, 굴절률, 균일성, 색상 등의 관점에서 필름을 빠르고 정확하게 매핑
어떠한 크기나 모양의 웨이퍼도 진공 Chuck에 올릴 수 있음
Application
Semiconductor Manufacturing
Polymers
Hardcoat, Anodization, Metal parts process
PV Industry
Liquid Crystal Display
Optical Coating
Specifications
FR-Scanner-E VIS/NIR
FR-Scanner-F VIS/NIR
FR-Scanner-F VIS
Sample Size
2 ~ 8 inch 웨이퍼
Resolution in R
10μm
5μm
5μm
Resolution in Angle
0.2 º
0.1 º
0.1 º
Spot Size
500μm
Spectral Range
350 - 1100nm
350 - 1100nm
550 - 900nm
Pixels
3648 Pixels
Thickness Range
20nm - 90μm
20nm - 90μm
100nm - 190μm
Weight
23kg
40kg
40kg
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